真空滅弧室主要由氣密絕緣系統、導電系統、屏蔽系統、觸頭系統幾部分組成。
1、絕緣外
材料：絕緣外殼的材料有玻璃、陶瓷、微晶玻璃三種。微晶玻璃價格昂貴，因而沒有得到過實際應用；玻璃結構強度較差，使用量已逐漸減少；陶瓷綜合性能好，因而應用廣泛。
主要作用：絕緣外殼主要是起絕緣支撐作用，并參與組成氣密絕緣系統。
2、波紋管
材料：波紋管主要由厚度為0.1～0.2mm的不銹鋼制成。
主要作用：波紋管主要擔負動電在一定范圍內運動、及高真空密封的功能。真空滅室要求波紋管具有很高的機械壽命。
3、屏蔽筒
材料：屏蔽筒可由無氧銅、不銹鋼、電工純鐵或銅鉻合金等材料制成。
主要作用：
1）減輕觸頭在燃弧過程中產生的金屬蒸汽和液滴噴濺對絕緣外殼內壁的污染程度，從而避免造成真空滅弧室外殼的絕緣強度下降或產生閃絡。
2）改善真空滅弧室內部的電場分布，有利于真空滅弧室絕緣外殼的小型化，尤其是對高電壓等級真空滅弧室的小型化有效果。
3）冷凝電弧生成物。特別是真空滅弧室在開斷短路電流時，電弧所產生的熱能大部分被屏蔽系統所吸收，有利于提高觸頭間的介質恢復強度。屏蔽筒冷凝電弧生成物的量越大，吸收的能量也越大，越能改善真空滅弧室的開斷能力。
